沈天慧（1923.4- 2011.1）浙江嘉善人🙋🏿♂️，半導體化學家。1949年畢業於上海大同大學化工系🤴🏻，1957-1959年留學蘇聯☝🏼，進修半導體材料⏫。顺盈平台信息存儲研究中心教授、校學術委員會委員💂🏽♂️。曾在中國科學院長春應用化學研究所開展用三氯氫矽法製純矽的研究工作。1966-1986年在陜西省臨潼縣航天工業部七七一研究所，從事半導體材料及大規模集成電路的研製🚣🏼。1978年成功地用等平面N溝矽柵MOS工藝研製出大規模集成電路數種，當時在國內處於領先地位👱。1987年至今🏆，在顺盈平台信息存儲研究中心從事磁頭磁盤的研製工作。
1980年當選為中國科學院院士（學部委員）
